クリーンルームとは・・・

クリーンルームとは

肉眼で見ることのできない空気中のゴミやホコリの量(個数)、必要に応じた温度や湿度、室内の圧力などの環境条件が所定の数値以下にコントロールされている空間のこと。クリーンルームの役割は非常に大きく、空気中のゴミが原因で発生するさまざまな障害を防止することができます。

清浄度とは「空気のきれいさを示す量」

クリーンルームの清浄度を表す尺度は、単位体積に含まれる塵埃(ちり・ほこり)の大きさとその数で表されるのが一般的です。この数値によってクリーンルームのクラス分けが行われます。「清浄度クラス○○」という表現がありますが、これはクリーンルームの性能を表す一般的な単位のことで、1立方フィート(約30cm角)の空気中に0.5μm(ミクロン)以上の粒子が何個あるかを表します。

クリーンルームの重要4原則

クリーンルームを設計・管理する上で重要な4つの原則があります。
これらを設計の柱に位置付け、お客様のご要望にお応えします。

クリーンルームの空気清浄方式

垂直層流方式 水平層流方式 非層流方式
■構造図 天井全面から清浄な空気を床面に垂直に流す方式
■特 徴 最も高い清浄度が得られる
設備コストが割高
■清浄度 クラス1〜100
■用 途 半導体工場・超精密加工 等
■構造図 壁全面から清浄な空気を対向壁に水平に流す方式
■特 徴 高い清浄度が得られる
装置の配置・人や物の出入りに制約事項が多い
■清浄度 クラス100〜1,000
■用 途 精密加工・病院手術室 等
■構造図 天井の一部から清浄な空気を壁下部へ流す方式
■特 徴 最も一般的な方式
設備コストが安く管理も容易
■清浄度 クラス1,000〜
■用 途 精密加工・食品加工工場 等